Physik Instrumente（PI）納米定位 執(zhí)行器

L-306·0111·00

緊湊型精密Z向位移臺，13毫米行程，20牛負載容量，步進電機 ，含3米成套電纜

L-306·0111·12

緊湊型精密Z向位移臺，13毫米行程，20牛負載容量，步進電機，帶A/B正交信號傳輸的線性編碼器，5納米傳感器分辨率 ，含3米成套電纜

L-306·.0131·12

緊湊型精密Z向位移臺，13毫米行程，20牛負載容量，直流電機，帶A/B正交信號傳輸的線性編碼器，50納米傳感器分辨率 ，含3米成套電纜

德國Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米與納米定位技術的研發(fā)與制造。PI代表著技術性能，定位精度可達納米。PI可獲得的組件獨立于市場上，并提供超越現有技術水平的單獨解決方案。高度的靈活性為PI的客戶提供了顯著的競爭優(yōu)勢。

Physik Instrumente (PI)主要產品：

線性平臺和執(zhí)行器

電動旋轉平臺和測角器

XY平臺

六足/平行運動

訂購信息

N-565.160

精密線性定位平臺，行程為13毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅動力為10牛，尺寸為65 × 80 ×

20毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進驅動器

N-565.260

精密線性定位平臺，行程為26毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅動力為10牛，尺寸為65 × 110 ×

20毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進驅動器

N-565.360

精密線性定位平臺，行程為52毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅動力為10牛，尺寸為65 × 160 ×

20毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進驅動器

帶有由電動機驅動的機械導軌的定位和運動系統(tǒng)是自動化過程中的核心組件。這正是PI miCos擁有其核心專業(yè)知識的地方。已經有廣泛的精密軸，適用于個人應用和OEM客戶。 PI miCos在Eschbach將PIMag®線性電動機，由PI開發(fā)的現代電動機（例如DC（BLDC），AC或步進電動機）集成到高精度，機械引導的
行程為80、170和250毫米
增量或式線性編碼器，多種分辨率
用于實現高負載能力的交叉滾柱導軌
無鐵芯或鐵芯線性電機
緊湊的橫截面：80毫米 × 25毫米
適應能力強
構造可實現需求的靈活適應。通過采用不同的行程、驅動器和測量系統(tǒng)，產品可同樣適用于技術復雜、臨界成本應用。XY組件也可實現

交叉滾柱導軌
對于交叉滾柱導軌，滾珠導軌中的滾珠的接觸點被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預載更小，這減少了摩擦并實現了更平滑的運行。交叉滾柱導軌還具有高導向精度和高負載能力的特征。力導向滾動體保持架防止保持架蠕變。

應用領域
工業(yè)和科研。半導體或醫(yī)學技術中的測量技術、光子學及精密掃描

PIMag磁力直接驅動
三相磁性直接驅動器在動力傳動系統(tǒng)中未使用機械零件，其可直接將驅動力傳輸至運動平臺，且無摩擦。驅動器可實現高速度和高加速度。

無鐵芯電機非常適合對精度有超高要求的定位任務，因為其不會與性磁鐵發(fā)生不良作用。這樣即使在低的速度下也能保持平穩(wěn)的運行，同時，在高速狀態(tài)下也不會產生振動。避免了控制的非線性行為并且每個位置都很容易控制。驅動力可任意設定。

力和加速度需要在有限安裝空間內實現時，使用鐵芯電機。鐵芯設計使磁力，確保驅動器的高熱穩(wěn)定性。

直接位置測量
以*的精度直接在運動平臺上進行位置測量，因此非線性效應、機械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響

Physik Instrumente （PI） 直接位置測量 傳感器 實驗用

PI (Physik Instrumente) P-542.PD1 用于P-54x納米定位系統(tǒng)的培養(yǎng)皿支架，35 毫米 P-542.SH1 用于P-54x納米定位系統(tǒng)的顯微鏡載片支架

PI (Physik Instrumente) P-611.2S XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，應變片傳感器

PI (Physik Instrumente) P-611.20 XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，不帶傳感器

PI (Physik Instrumente) P-611.XZS XZ向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，應變片傳感器

PI (Physik Instrumente) P-611.XZ0 XZ向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，不帶傳感器

PI (Physik Instrumente) P-612.20L XY 向納米定位系統(tǒng)，130微米 × 130微米，孔徑為20毫米 × 20毫米，開環(huán)

PI (Physik Instrumente) P-612.2SL XY 向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，孔徑為20毫米 × 20毫米，應變片傳感器

PI (Physik Instrumente) P-620.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，50微米 × 50微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente) P-621.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente) P-622.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，250微米 × 250微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente) P-625.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，500微米 × 500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente) P-628.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，800微米 × 800微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente) P-629.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，1500微米 × 1500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente) P-620.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，50微米 × 50微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

PI (Physik Instrumente) P-621.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

Physik Instrumente （PI）線性平臺進口 N-565.360

  Physik Instrumente (PI)-P-613

  Physik Instrumente (PI)-P-630

  Physik Instrumente (PI)-P-712

  Physik Instrumente (PI)-P-725

  Physik Instrumente (PI)-S-330

  Physik Instrumente (PI)-S-335

  Physik Instrumente (PI)-S-340

  Physik Instrumente (PI)-U-523

  Physik Instrumente (PI)-V-408

  Physik Instrumente (PI)-V-741

Physik Instrumente（PI）納米定位 執(zhí)行器